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青岛晨立电子有限公司
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包装说明：木架
关 键 词：晶圆退火设备,退火炉,真空炉
行 业：机械 电子产品制造设备
发布时间：2024-09-29
晶圆真空退火炉主要用于半导体晶圆在高真空环境下的低温退火。 尺寸：4-8英寸晶圆 晶圆舟：标准25片 控温精度：±3℃ 升温速率：10℃/min 洁净等级：百级洁净 真空度：5*10-4 Pa 使用温度：200-550度
