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图3a至图3c示出了在弧矢(S)方向和(T)方向的MTF值被配置为满足上述要求的情况下,被感光元件接收到的光斑的形状。图3a是被测物体在激光位移传感器的best小量程处的情况下,感光元件接收到的光斑的形状,OBJ:-2.1000mm,0.0000mm为物点在子午方向无偏离,在弧矢方向偏离-2.1mm,IMA:1.627,0.000mm为所成的像点在子午方向无偏离,在弧矢方向偏离1.627mm。图3b是被测物体在激光位移传感器的中间量程处的情况下,感光元件接收到的光斑的形状,OBJ:0.0000,0.0000mm为物点在弧矢方向无偏离,在子午方向无偏离,IMA:-0.243,0.000mm为所成的像点在子午方向无偏离,在弧矢方向偏离-0.243mm。图3c是被测物体在激光位移传感器的比较大量程处的情况下,感光元件接收到的光斑的形状,OBJ:2.1000,0.0000mm为物点在子午方向无偏离,在工业领域,激光位移传感器可以用于检测零件的尺寸和位置,以确保生产过程的准确性和一致性。浙江激光位移传感器定做价格
如权利要求4所述的激光位移传感器检验校准装置,其特征在于:所述电子测量仪包括一电子千分表以及一千分表夹持装置;所述电子千分表夹持在所述千分表夹持装置上,所述千分表夹持装置一端抵接于所述延伸部,另一端抵接于所述横向蜗杆上。如权利要求1所述的激光位移传感器检验校准装置,其特征在于:所述传感器夹持装置包括一纵向螺杆以及一夹持器;所述夹持器套设在所述纵向螺杆上,所述激光位移传感器夹持在所述夹持器上。aaaaaaaaa浙江激光位移传感器定做价格非接触式位移传感器的出现推动了现有技术的适应,以满足新的测量要求并提高测量的准确性和分辨率。
通过所述控制面板14设置所述电动伸缩双直线导轨11伸缩至特定的距离,打开所述激光位移传感器4,使得所述激光位移传感器4的激光照射在所述激光红外线接收挡板5的接收面上,记录所述激光位移传感器4至所述激光红外线接收挡板5的距离;旋转所述位移调节把手212使得所述横向蜗杆211横向位移,记录所述电子千分表221的位移数据,记录此时所述激光位移传感器4至所述激光红外线接收挡板5的距离,通过比较所述激光位移传感器4前后两次测量的距离差与所述电子千分表221的位移数据,计算所述激光位移传感器4的误差;调节所述电动伸缩双直线导轨11的伸缩距离,重复以上测量,以减少测量误差。
本发明提出的激光位移传感器的成像物镜和感光元件的调制传递函数(MTF)解析结果满足MTFS>MTFT或MTFT>MTFS,能够利用像散,让呈现在感光元件上的光斑在水平方向(即,弧矢方向,S方向)变窄,而在竖直方向(即,子午方向,T方向)变长(或者让光斑在水平方向(即,弧矢方向,S方向)变宽,而在竖直方向(即,子午方向,T方向)变窄),有助于更加容易地确定光斑在水平方向上的中心位置,从而提高测量的准确度;由于激光位移传感器中感光元件的多个感光单元的阵列排布形状为矩形或线形,将矩形长边或直线的延伸方向上的MTF降低,也不会影响测量精度;不仅如此,由于在MTF值被拉高的方向上光斑变窄,而在MTF值被降低的方向上光斑变宽,所以光斑与像元之间的接触面积增大,使得光斑更加容易地被感光元件所接收,能够更好地应对使用中因为振动或机械变形等随带来的不良影响;此外,由于本发明提出的激光位移传感器所采用的成像物镜*兼顾水平方向和CN1 06855391B4竖直方向的MTF值,所以能够降低物镜的设计难度,节省制造和维护成本;激光位移传感器可精确非接触测量被测物体的位置、位移等变化。
进一步地,所述蜗轮蜗杆机构包括一横向蜗杆、一蜗轮以及一位移调节把手;所述横向蜗杆的一端与所述激光红外线接收挡板的背面固接,另一端与所述电子测量仪抵接;所述位移调节把手与所述蜗轮的中心固接。进一步地,所述电子测量仪包括一电子千分表以及一千分表夹持装置;所述电子千分表夹持在所述千分表夹持装置上,所述千分表夹持装置一端抵接于所述延伸部,另一端抵接于所述横向蜗杆上。 进一步地,所述传感器夹持装置包括一纵向螺杆以及一夹持器;所述夹持器套设在所述纵向螺杆上,所述激光位移传感器夹持在所述夹持器上。
优点在于:1、通过所述电子千分表,使得所述激光位移传感器的检验精度较大提高。2、通过所述电动伸缩双直线导轨,简化了检验流程、当设备闲置时收缩导轨可节约占地面积。 这种传感器具有较高的稳定性和可靠性,能够长时间稳定地工作。浙江激光位移传感器定做价格
光谱共焦位移传感器是一种高精度的光学测量仪器,能够实现非接触式的表面形貌测量。浙江激光位移传感器定做价格
在一个实施例中,上述感光元件7可以为线阵CCD感光芯片,或者也可以是线阵CMOS感光芯片。在线阵CCD感光芯片或线阵CMOS感光芯片中,包括线形排列的多个感光单元,通常为直线排列,该直线的延伸方向为感光单元的主要排列方向,这些感光单元沿着水平方向(弧矢方向)排列。由于感光单元为直线状排列,因此,长条形光斑可增加与像元之间的接触面积,可降低机械器件形变对所述激光位移传感器信噪比的影响。[0045]在其他实施例中,上述感光元件7可以是面阵CCD感光芯片或面阵CMOS感光芯片。面阵CCD感光芯片或面阵CMOS感光芯片包括排列为矩形的多个感光单元,矩形的长边沿着水平方向(弧矢方向)延伸,短边沿着竖直方向(子午方向)延伸,其长边的延伸方向即为感光单元的主要排列方向。这样,长条形光斑同样更加容易地被面阵CCD感光芯片或CMOS感光芯片接收到。浙江激光位移传感器定做价格