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博思飞尔（上海）仪器科技有限公司
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FAC系列采用毛细管热温差式传感器，测量精度不受温度和压力影响，基体采用316L不锈钢，适应有毒和腐蚀性气体，较大工作压力可达750 Psi。模拟测量控制电路，输出信号0~5V/4~20mA，电气接口部分采用浪涌抑制和过压过流保护电路，确保系统稳定可靠运行。FAC系列已通过CE和Rohs认证 性能指标 流量精度 ±1% F.S 重复性 ±0.2% F.S 控制范围 2%~** F.S 响应时间 <2s 温度系数 Zero: <0.05% of F.S./℃. Span: <0.1% of S.P. /℃ 压力系数 0.2% of S.P. / Bar 工作温度 0~50 ℃ 泄漏率 1x10-9 atm. cc/sec He 预热时间 5 min精度达到±2% F.S（30 min达到较佳精度） 电气参数 电源 ＋15~24V dc 较大功耗 10W（MFC）；3W（MFM） 模拟信号 0-5V / 4-20mA 电气接口 9Pin D-Connector（Male） 机械参数 阀门类型 常闭阀（MFM无意义） 基体材质 316L不锈钢 密封材质 氟橡胶；三元乙丙橡胶；丁腈橡胶 气路接口 1/8、1/4、3/8、φ3、φ6、φ9卡套或VCR