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南京百思优科技有限公司
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关 键 词：光刻胶/SU-8胶
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发布时间：2010-09-01
SU-8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶.它适于制**厚、高深宽比的MEMS微结构。南京百思优公司生产的SU-8胶在近紫外光范围内光吸收度低,整个光刻胶层所获得的曝光量均匀一致,可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形，它还具有良好的力学性能、抗化学腐蚀性和热稳定性。
