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博思飞尔(上海)仪器科技有限公司
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产品简介 性能较佳的质量流量控制器只需将流量保持在您的设定值。Alicat MC系列气体质量流量控制器可快速达到新的设定值,并保持该设定值,即使在压力突然增加的情况下,亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能,确保相关产品能快速实现稳定控制。 多功能:监控流速的同时控制压力;可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。 连 接:利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通讯选项,可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。 耐 用:MC系列气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性,我们可为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。 性能指标 流量精度:±0.8% R.D and ±0.2% F.S ; ±0.4% R.D and ±0.2% F.S(用于≥5 SCCM型号) 重复性:±(0.2% R.D + 0.02% F.S) 控制范围:0.01–**F.S 响应时间:<10 ms;与流量相关 温度精度:±0.75°C 压力精度:±0.5 %R.D(> 1 Atm)/ ±0.07 PSIA(< 1Atm) 工作温度:−10–60°C 预热时间:<1 s 电气参数 电源:12–24 V;250 mA (如果配备 4–20 mA,则为290 mA ) 数字通讯:RS-232 ; RS-485 ; Modbus RTU (RS-232 / RS-485), Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus 模拟通讯:4–20 mA; 0–5 V;1–5 V; 0–10 V 电气接口:6 pin locking; 8 pin mini-DIN; 8 pin M12;DB-9;DB-15