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青岛晨立电子有限公司
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产品数量:99 个
包装说明:
关 键 词:扩散炉,立式炉,退火炉
行 业:机械 电子产品制造设备
发布时间:2024-09-29
用途: 该设备用于半导体生产工艺过程中的高温扩散,烧结,退火等工艺。该系统具有精确仪表控制系统,具有高密封性和抗腐蚀性的高纯气路系统。该设备主要适合于8英寸工艺硅片的处理。 结构形式:立式 使用温度:1200℃ 恒温区:750mm 控温精度:±2℃