价格:面议
江苏芯梦半导体设备有限公司
联系人:何名娴
电话:18679172009
地址:苏州市吴中经济开发区东吴南路25号城南科技产业园7幢(2号厂房)1、2层
对于晶圆加工的各个环节而言,清洗工艺都是必不可少的基本工序,随着芯片制造工艺先进程度的持续提升,对晶圆表面污染物的控制要求也在不断提高,清洗工序也不断向精细化发展,而对清洗设备的需求也在相应增加。
当前,国际制造产业的竞争日趋激烈,能否在半导体设备产业上赶**国外,关系着中国信息技术产业的前途。未来,首年科技将继续肩负国产半导体设备崛起的使命,不断推陈出新,加速研发新的清洗产品,满足不同市场需求。与此同时,首年科技也将在晶圆载具、铁环、光罩传输中加大投入,生产更具竞争优势的设备,助力中国芯片行业做大做强。 芯梦设备操作简便,维护方便,降低你的生产成本!天津全自动花篮清洗机商家
半自动晶圆盒/晶舟盒清洗机
(Semi-autoFOUP/Cassette/PODCleaner)
适用场景:在密闭的空间用DIW对Foup进行清洗和干燥
设备特点:
1、清洗对象:12寸FOUP
2、设备主要构成:清洗腔、真空腔、自动充N2、上下料口、6轴机械手等机构组成
3、清洗能力:24只FOUP/小时(依配置的清洗腔中真空腔数量而定)
4、干进干出;
5、可与AMHS对接、可人工上料;
6、FOUP本体和Cover自动分离和清洗;
7、Chamber具备DIW喷淋、甩干以及真空+IR干燥功能;
8、可预设多条Recipe,操作简洁;
9、选配SECS/GEM接口;
10、实时记录生产数据,多种数据分析功能;
11、可实现工件数据追溯,具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能12、设备外形尺寸:L4000mmXW3600mmXH3300mm 湖南半自动晶圆盒清洗机大概价格江苏芯梦设备采用先进技术,助你轻松提升产能!
产品介绍:全自动FOUP清洗机适用于行业主流的12inchFOUP/FOSBParticles及金属离子清洗。设备配备多级精密过滤系统,有效保证洁净等级,满足制程需求class10/100。配置多种喷淋清洗工艺,可实现360°清洗,保证制程的高精度清洗需求。配备真空干燥系统可提升效率,满足低湿度要求,湿度实时监控。(Option)1.支持EAP/MES/AMHS主流通讯协议,SECS/GEM200/300。2.支持OHT/PGV/AGV设备对接。3.符合SEMIS2、S8/CE半导体制造标准及认证。应用范围:该设备主要用于半导体制程的FOUP、FOSB、Cassette的Particle清洗。
全自动晶圆盒清洗机(Fully Automated FOUP Cleaner)[1]:适用场景:用DIW/**溶剂(可选)实现FOUP清洁,通过高速旋转/红外灯管/CDA等多种技术实现FOUP干燥。设备特点:清洗对象:6/8/12半自动FOUP/Cassette/POD。设备主要构成:旋转鼠笼(便捷式可180°旋转后固定结构)、DIW喷淋系统、红外加热干燥系统、**溶剂清洗系统(可选)等机构组成。清洗能力:8只FOUP/小时(依配置的清洗腔真空腔数量而定)。干进干出。人工分离FOUP、POD,人工上下料及更换工装。旋转式离心清洗,可正反调速旋转,对于产品表面的附着残留物容易去除。工装设有防呆机构,防止人工将清洗件放置错误。鼠笼设有旋转到位防呆检测。动平衡侦测转篮未定位保护,降低因人为导致设备损坏。主轴以伺服马达控制达到稳定加减速及转速数值化设定控制,主轴震动值可监测。可预设多条Recipe,操作简洁。选配SECS/GEM接口。可实现工件数据追溯,具有过点信息、状态监控、故障汇总、订单下发等功能。 选择我司设备,让你的生产更加节能、环保!
晶圆盒清洗机包括
FoupCleaner;
Xtrim-FC-M300/400高速型;
FouPCleaner;
Xtrim-FC-H300水平机
AutoFOUP/FOSBCleaningSystem
全自动FOUP/FOSB清洗机Xtrim-FC-A300
Xtrim-FC-M300Introduction:
产品介绍:
Over25yearsofexperienceincleaningequipmentbusiness;
在清洗机行业**25年经验;
ProfessionalserviceandsupportteamsinShanghaiandSuzhou;
在上海,苏州有完善的服务和销售团队
Designed,manufacturedandservicedbox/-FOUP/FOSB/MASKPODcleaners;
*设计、生产、服务、可用于片盒、FOUP、光罩盒清洗;
SEMI S2认证;
芯梦的设备节能,符合现代的生产理念,助你降低成本!湖南半自动FOSB清洗机联系人
江苏省晶圆盒清洗机哪家靠谱就选江苏芯梦半导体设备有限公司!天津全自动花篮清洗机商家
1、晶圆盒清洗机主要用于清洗附着在晶圆盒上的杂质,如切削油、磨粒、铁屑、尘埃、指纹等。其功能是提高产品的质量,防止这些杂质对晶圆盒造成污染,影响产品的性能。具体来说,晶圆盒清洗机可以去除防锈油脂、量具的清洗、机械零部件的除油除锈、发动机及汽车零件及底盘漆前除油、除锈、磷化前的清洗、过滤器活塞配件滤网的疏通清洗等。对于精密机械部件、压缩机零件、照相机零件、轴承、五金零件、模具等也有很好的清洗效果。在铁路行业中,对列车车厢空调的除油去污、对列车车头各部件的防锈、除锈、除油也有很好的效果。请注意,尽管晶圆盒清洗机是一种重要的设备,但是其使用需要严格的操作规程和注意事项。如有需要,可以咨询江苏芯梦半导体设备有限公司!天津全自动花篮清洗机商家
芯梦拥有近12000平米的研发生产基地,包括**过3000平米的千级洁净室和万级装配车间,配备有精密的研发检测仪器设备。芯梦的创始团队成员均为半导体装备领域从业数十年的专业人才,目前芯梦已经建立了一支多学科交叉、实力雄厚的技术研发团队,目前公司拥有员工总数290余人,其中技术研发人员90余人,售后服务人员近40人。我们高度重视知识产权保护,主营产品已获得数十项授权**,包括近20件授权发明**,并通过了知识产权管理体系认证。