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产品规格:一套
产品数量:10 个
包装说明:
关 键 词:镀膜机,刻蚀机,真空炉
行 业:机械 化工实验设备
发布时间:2023-12-11
●Surpass系列 干法刻蚀机,特别适合于大口径、高均匀性和有特殊微纳结构的基片刻蚀,刻蚀尺寸可达φ2500mm,通过高密度等离子体及离子浓度修正系统,可达到基片有效刻蚀区域内均匀性较高的技术指标,满足大口径基片刻蚀的需求。