昆山熙日机械设备有限公司
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Cube™ CDGsci
INFICON Cube 电容式隔膜仪是的（≤ 0.025 % Rd 的准确度；≤ 50 ppm FS 的可重复性）和稳定的真空仪表（< 5 ppm FS/ °C 的温度稳定性；< 70 ppm FS/年的长期稳定性）。Cube 设计用作对真空测量系统进行标准化的纯粹参比装置，是真空研究的选择。成熟的 INFICON 控温、防腐蚀**纯陶瓷传感器是 Cube 出色性能的心脏。凭借 20 位模拟输出和通过无线或有线以太网接口连接的 RS232-C、TCP/IP 以及 HTML 数字输出，Cube 建立了现代通信和用户灵活性的新标准。每个设备都随附有质保证书，并由 Cube 的主导产品研究员亲笔签名。装在可重复使用的硬壳手提箱中交付以便于存储或运送到校准实验室，进一步印证了其性。
390 Micro-Ion ATM
VD83 100 到5x10-4mbar 皮拉尼
VD84 100 到1x10-3mbar 外置皮拉尼
应用实例
液态气罐的真空绝缘保护了液态气免受环境热的影响。真空封装有效地隔绝了气罐和它的外部环境间的热传导。
挑战
为了确保绝缘功能的正常以及当气罐或其外壳发生泄漏时及时被侦测到，需要定期检测绝缘的真空状态。真空绝缘失败将会带来气体升温的风险，并导致危险的压力上升。
解决方案
用带可拆卸传感器探头的VD84真空计可以方便而快速地检测气罐中的绝缘真空。每个气罐配备一个单的传感器，它固定在绝缘封装中。真空计可以定期地与传感器连接，以检测内部的真空状态。
应用领域
服务和维护
低真空泵检测
真空干燥
真空离心机
冷却和冷冻技术
特点
真空压力测量至10E-9Torr
双灯丝增加设备的正常运行时间
**洁净结构在抽气过程中实现快速响应
坚固耐用的金属结构，抗射频和噪音符合CE标准
可选本地显示器有助于设置和诊断
数字接口可用于计算机控制系统
INFICON反磁控管皮拉尼复合真空计，MPG400 和 MPG401，测量范围为 5 x 10-9 mbar 至大气压力（3.8 x 10-9 Torr 至大气压力）。将多项技术融入带有一个对数模拟输出信号的单个紧凑型装置中，显著降低了安装、设置和集成的复杂性。
VSH 1000到5x10-10mbar 皮拉尼/热阴极
应用实例
铜焊、烧结或退火需要一个无氧环境，这意味着整个过程要在真空中加入部分惰性气体的环境下完成。
挑战
工艺过程中需要持续真空状态，并使之持续维持在一个低位，以避免产品被氧化。我们一个客户需要测量其高真空管式炉靠近气体处的压力以及真空口处的压力。
解决方案
采用两个宽量程VSH真空规来测量真空炉气体处和真空口处的压力值。 这两个真空规通过RS485接口与系统PLC连接，以便两个压力值可以被直观地图形化地表示出来，以方便对真空炉管内的压力变化曲线进行。另外，也可增加一个VD12双通道真空计安装在面板上，实现直接观察压力读数。
应用领域
分析仪器
镀膜
对高真空和**高真空应用的控制
溅射工艺
工艺工程
