产品规格:VIC-D210
产品数量:100 个
包装说明:原包装
关 键 词:韩国MKP,质量流量控制器,流量计
行 业:仪器仪表 电工仪器仪表 特殊电工仪器仪表
发布时间:2023-09-27
MKP热式气体质量流量控制器
产品广泛应用于半导体,显示器,燃料电池,气体产业等制造工程,为韩国的事业发展做出贡献
产品介绍:
VIC-D200 Series
因适用PTFE DISK,整个区间的回应时间快
对毒性和腐蚀性气体的耐久性大幅增加
采用浪涌及耐电压保护电路
通过温度补正,在周围温度变化下也可维持准确度
产品配置
流量范围(N2 标准):50~200slm
流量控制范围:满量程的2 ~ 100
准确度:满量程的≤ ± 1%
回应时间:≤ 1.0 sec (10 ~ 100)
线性:满量程的≤ ± 0.2%
运转原理;热式
控制阀形式:Normally Closed Solenoid
密封种类:Elastomer (Viton, Viton-ETP , Kalrez, etc.)
输入输出信号:模拟性: 0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA
数字型: RS-485(Optional : DeviceNet, EtherCat)
电源供应:+15VDC ~ +24VDC
运转温度;5 ~ 50℃ (建议温度范围: 15 ~ 35℃)
连接器;Standard : D-SUB 9 pin Male
Optional : DeviceNet Micro style Connector, RJ45
重量 2kg
Sccm、slm是显示标准气体流量(mL/min,L/min,at 0'C101.3kPa)的符号。
VIC-D系列,型号:VIC-D210 VIC-D220 VIC-D240 VIC-D245 VIC-D145 VIC-D150
TSM-D系列,型号:TSM-D200 TSM-D200 TSM-D210 TSM-D220 TSM-D230 TSM-D240 TSM-D245 TSM-D250 TSM-D200