SKY® CDG025D 0.1 ... 1000 Torr / mbar
INFICON SKY CDG025D 电容式隔膜真空计系列的高精度、温度补偿型压力计，可以在恶劣的生产加工环境中提供稳定的性能。数字电子元件可提高仪表性能, 且易操作, 例如一键归零功能和设定点调整。防腐蚀陶瓷传感器具的零点稳定性出色，预计寿命可达到数百万个加压循环，包括突发大气压。的传感器屏蔽（申请中）可防止仪表被过程污染。坚固的机械设计和数字电子元件可以改进电磁兼容性 (EMC)、长期稳定性和温度补偿。CDG025D 为开机后快速稳定以及从气压中快速恢复的功能树立了新的标准。
应用
半导体制造设于刻蚀, CVD, PVD, ALD
数据存储和OLED,LCD制造设备
工业真空设备
混气实验设备
一般高精度压力测量
范围广泛、符合标准的内部电源可使用 +13.5 到 +36 V 的标准直流电，对电压波动有很好的承受力
0 到 +10 V 直流电压的标准模拟输出和真空计标识符允许轻松连接计算机或 PLC 和进行故障输出指示
nAIM支持串口信号输出：RS232/RS485
电极维修套件允许用户进行清洁和维护
特的放电器设计确保即使在高真空或污染环境下也可以快速放电
宽广的压力范围
VD83 100 到5x10-4mbar 皮拉尼
VD84 100 到1x10-3mbar 外置皮拉尼
应用实例
液态气罐的真空绝缘保护了液态气免受环境热的影响。真空封装有效地隔绝了气罐和它的外部环境间的热传导。
挑战
为了确保绝缘功能的正常以及当气罐或其外壳发生泄漏时及时被侦测到，需要定期检测绝缘的真空状态。真空绝缘失败将会带来气体升温的风险，并导致危险的压力上升。
解决方案
用带可拆卸传感器探头的VD84真空计可以方便而快速地检测气罐中的绝缘真空。每个气罐配备一个单的传感器，它固定在绝缘封装中。真空计可以定期地与传感器连接，以检测内部的真空状态。
应用领域
服务和维护
低真空泵检测
真空干燥
真空离心机
冷却和冷冻技术
VD81 1600到1mbar 陶瓷薄膜传感器
应用实例
真装可以增加食物的保存时间3到5倍。包装过程是先抽真空然后再密封。
挑战
包装机器是否运转正常需要定期检测。只有当包装中的真空度足够时，食物的质量、新鲜度、营养成分、和口感才可以得到地保存。
解决方案
为了检查包装的性能，可以定期地将一个由电池驱动的VD81替代食物进行真空密封。在包装过程中，VD81存储其获得的小压力值，当它被拿出包装设备后，可以显示该小压力以便检测。
应用领域
真空设备的安装和检测
分析仪器
化工工程
作为机械和压力计的替代品
真空炉
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎无需维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
