半导体酸碱蚀刻PFA清洗花篮性能稳定低本底

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南京滨正红仪器有限公司

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产品规格：4寸6寸

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关 键 词：PFA花篮,PFA清洗花篮

行 业：仪器仪表 实验室仪器 

发布时间：2023-08-30

PFA花篮（PFA wafer Cassette） 又名 清洗花蓝 ，铁氟龙卡匣 ， 铁氟龙晶舟盒 ，铁氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器，耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱)，能做激光雕刻，能够安装RFID。保持载体和物料的跟踪。
主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。我司PFA花篮，进入化学酸、碱蚀刻制程中，可搭配PFA把手使用。
二、参数
名称	规格 	耐温性	           应用
        2寸	-200~260℃	酸碱传输制程
花篮	4寸		
	6寸		
三、特点
1.耐腐蚀：耐受强酸强碱
2.搭配可活动把手，用于晶圆芯片清洗运输
3.耐高低温：-200~260℃
4.耐绝缘：介电性能与温度、频率无关；
5.防污染：本底值低，金属元素铅铀含量小于0.01ppb；
6.低的溶出和析出，确保晶圆芯片无污染

7.化学性能稳定
公司拥有三十多年PFA制品生产加工经验，公司投入大量人力、物力致力于太阳能光伏相关产品的研发，截止目前，公司推出的光伏用--太阳能硅片花篮，太阳能硅片承载器,硅片花蓝,,半导体清洗花篮。