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高精度真空计
精准真空测量范围从 0.1 毫乇到 2 巴
INFICON 陶瓷电容式膜片真空计 (CDG) 专为要求极其严格和准确度要求极高 (0.15%)的真空行业设计。防腐蚀超纯氧化铝材料传感器 可确保该真空计优越的性能、长期的稳定性、高准确度和多年免维护。INFICON 提供规格齐全电容式膜片真空计（CDG），从价格便宜的Porter状态真空计到世界上快的测量时间不到1毫秒Stripe电容式膜片真空计（CDG）、200℃过程控制规管压力表或具有优良稳定性的比对真空计校准仪。丰富可选的法兰和通讯接口的大量选用（如以太网接口）使这些仪表成为既简单又实惠的结合。
紧凑而坚固的真空和差压开关进一步丰富了产品的品种。
Pfeiffer Active 系列真空计
Bayard Alpert热阴极离子真空规
INFICON Bayard-Alpert热阴极离子真空规BAG050、BAG051、BAG052和BAG053，灯丝组件由钇丝-涂层铱和钨丝两种选择，与Inficon VGC083一起使用；也可兼容其他厂商同类型控制器一起使用。
ATC热电偶真空计
Edwards ATC系列热电偶 (ATC-E) 真空计可直接安装在 ATC-D 或 ATC-M 热电偶管上，形成紧凑、立的传感器。
ATC-E 电子模块既能驱动中压压力计管件，也能驱动低压压力计管件。这些真空计为更高的压力提供了经济的测量解决方案
VSR 1200到1x 10-4mbar 压阻/皮拉尼
应用实例
氮化硅在半导体行业中被用作隔离材料或外壳材料。它被放置于PECVD或LPCVD腔室中作气相沉积。在镀膜系统中要通过Load-Lock来保证工艺腔体中的真空维持在10-2到1mbar。
挑战
在Load-Lock抽真空过程中需要测量真空压力，以便晶片可以在尽可能短的时间被送入工艺腔体，从而启动镀膜过程。终处理过的晶片会再次回到Load-Lock，然后放气至大气压力后打门，取出晶片。因为操作的时间窗口很短，所以对压力读数的快速反应尤为重要。
解决方案
Load-Lock的压力由一个VSR真空规，它集成了压阻/皮拉尼复合传感器，能够高精度地测量1200到1x10-4mbar的真空压力。因而，打开工艺腔时的锁室压力以及放气到大气压力的精准时间点都可以被地测量。VSR快速的响应时间以及的压力读数使得腔门可以被快速及时地打开，从而使得一个非常短的Load-Lock循环周期成为可能。由于其出色的长期稳定性该真空规几乎无需维护。
应用领域
分析仪器
真空炉
镀膜设备
低真空泵测试
