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厦门天合昆泰科技有限公司
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二手OLYMPUS奥林巴斯工业检查显微MX51 OLYMPUS MX51是一款显微镜,采用防静电设计,无限远矫正光学系统。 中文名OLYMPUS MX51产品特性采用防静电设计光学系统无限远矫正照明系统BX-KMA明视场类 型显微镜 目录 1产品特性 2技术规格 产品特性编辑播报 ● 紧凑的设计实现较小的占地空间 ● 镜臂部分和镜体分开,使高的样品观察成为可能 ● 标配158X158mm手动移动载物台(可用于200mm晶圆检查) ● 选配长工作距离物镜,较大方便磁头检查 ● 采用防静电设计,较大方便磁头检查 ● 提高系统灵活性和操作舒适性,满足SEMI S2/S8标准 技术规格编辑播报 光学系统:UIS (无限远矫正)光学系统MX51显微镜镜体:Z轴同轴粗微调调焦,载物台行程范围:32mm(从焦面上行2mm和下行30mm)行程相同:15mm(配合透射光照明)Z轴微调焦每旋转一周的行程0.1mm(1个单位1μm)调焦机构张力可调有调焦上限位机构MX51照明系统:BX-KMA明视场照明器BX-RLA2明视场/暗视场照明器BX-URA2照明器MX51透射照明:明视场MX-TILLK照明灯,配备光纤照明附件(MX-TILLK须与MX-SIC6R2配合使用)