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深圳市亨达兴工业气体有限公司
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特种气体配送、特种气体指那些在特定领域中应用的,对气体有要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体是工业气体中的一个新兴门类，是随着近年来工业、科学研究、自动化技术、精密检测，特别是微电子技术的发展而发展起来的。
特种气体配送、特种气体的分类方式很多种，例如按照气体本身化学成分可分为：硅系、系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。同时，以类存在交叉，例如四氯化硅（SiCl4）既属于硅系气体，又属于外延气体，同时在化学气相沉积(CVD)中也存在应用。
特种气体配送、特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有要求的气体，随着工业、科学研究、自动化技术、精密检测（特别是微电子技术）的发展，特种气体成为工业气体市场规模增长新动力，广泛应用于半导体、LED、光纤光缆、等新兴行业。
特种气体配送、近年来，随着下游应用领域的逐步扩展，特种气体的品种也与日俱增，据不完全统计，现有单元特种气体达260种左右，特种气体已成为高科技应用领域不可缺少的基本原料。特种单一气体有260种，其中电子气体114种（实际常用的约44种），**气体65种，无机气体35种，卤碳素气体29种，同位素气体17种。
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