价格：7700起
晟旗科技（北京）有限公司
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无泄漏质量流量计价格表小岛KOFLOC-EX700代理
日本KOFLOC-3660系列质量流量控制器
3660系列设计精密，成本较低。广泛用于各个不同的领域
从实验室和研究开发项目 到各种仪器设备的标准采用机种
发挥了很好的实际效果，另外还有有各种衍生功能可选
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才能保证质量流量控制器准确地进行测定。气体质量流量控制器作为一种精密的气体测量装置现在已经有了普遍化的使用了，虽然说更多人都已经开始对这种装置有了一些相应的了解，但是对其优势所在还不是了解的特别全面，其中能够对气体的质量流量进行精度很高的细微调节就是个被用户所广泛称赞的主要优势体现。
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| 3660 | 3665 |
| 量程(N2) | 10SCCM-20SLPM | 30-150SLPM |
| 精度 | ±1.0%FS | ±1.5%FS |
| 有效范围 | 2-** | 5-** |
| 重复性 | ±0.5%FS | |
| 响应时间 | 2秒 | 3秒 |
| 动作压差 | 50-300Kpa | 150-300Kpa |
| 另有低压差、高压差产品可选 | ||
| 耐压 | 1.0Mpa | |
| 泄漏率 | 1*10-8pa·m³/s以下 | |
| 温度范围 | 5-45℃ | |
| 湿度范围 | 10-90%RH(不能结露) | |
| 材质 | 本体SUS316、SUS316L、磁性材料等 | |
| 密封圈VITON，选配NBR或FKM | ||
| 电气接口 | DB9 | |
| 模拟信号 | 0-5V输入/输出 | |
| 供电 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)250mA； | |
| 管路连接 | 标配1/4F9 | 标配3/8F9 |
| 选配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | 选配1/2F9、3/8UJR、RC3/8 | |
| 重量 | 约1000g | 约1500g |
气体质量流量计在使用时如果发现测量结果误差比较大，有可能是流量计安装的不规范，导致流量计零漂。例如，当质量流量计安装在泵出口处较近，传感器支撑强度不够，或连接法兰焊接不当，就会产生应力信号以及让电缆受电磁干扰。