价格：7700起
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半导体生产质量流量计结构和原理小岛KOFLOC3660保养
日本KOFLOC-3660系列质量流量控制器
3660系列设计精密，成本较低。广泛用于各个不同的领域
从实验室和研究开发项目 到各种仪器设备的标准采用机种
发挥了很好的实际效果，另外还有有各种衍生功能可选
半导体生产质量流量计结构和原理小岛KOFLOC3660保养
才能保证质量流量控制器准确地进行测定。气体质量流量控制器作为一种精密的气体测量装置现在已经有了普遍化的使用了，虽然说更多人都已经开始对这种装置有了一些相应的了解，但是对其优势所在还不是了解的特别全面，其中能够对气体的质量流量进行精度很高的细微调节就是个被用户所广泛称赞的主要优势体现。
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| 3660 | 3665 |
| 量程(N2) | 10SCCM-20SLPM | 30-150SLPM |
| 精度 | ±1.0%FS | ±1.5%FS |
| 有效范围 | 2-** | 5-** |
| 重复性 | ±0.5%FS | |
| 响应时间 | 2秒 | 3秒 |
| 动作压差 | 50-300Kpa | 150-300Kpa |
| 另有低压差、高压差产品可选 | ||
| 耐压 | 1.0Mpa | |
| 泄漏率 | 1*10-8pa·m³/s以下 | |
| 温度范围 | 5-45℃ | |
| 湿度范围 | 10-90%RH(不能结露) | |
| 材质 | 本体SUS316、SUS316L、磁性材料等 | |
| 密封圈VITON，选配NBR或FKM | ||
| 电气接口 | DB9 | |
| 模拟信号 | 0-5V输入/输出 | |
| 供电 | +15VDC(±5%)100mA；-15VDC(±5%)250mA； | |
| 管路连接 | 标配1/4F9 | 标配3/8F9 |
| 选配1/8F9、1/4UJR、RC1/4 | 选配1/2F9、3/8UJR、RC3/8 | |
| 重量 | 约1000g | 约1500g |
相信经此介绍过后人们就能对于气体质量流量控制的优势体现在哪些方面有了更确切和明晰的了解了。人所共见的是气体质量流量控制器现如今已经在更多涉及到气体参与的工业生产当中有所使用，其市场的实际需求量也已经达到了一个**有过的新高度，而在众多的生产厂商当中唯有服务完善的才能更受用户们的认可。