价格：7500起
晟旗科技（北京）有限公司
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日本KOFLOC EX700系列气体质量流量计-数字式经济型
EX700全新数字式气体质量流量计
EXE-FLOW(TM)是Exact“准确的流量测量”
Excellent以“**的功能”为理念进行产品化。
从小流量(F.S.10scm)到大流量(F.S.200slm)，并准备了11范围标准库存。
搭载新型高性能传感器的低成本模型
小型轻量、单电源DC24V驱动
搭载RS-485通信功能标准
RoHS、CE标准对应
用显示器一体型简单操作：
瞬间/累计流量显示；气体种类切换；CF任意设定
上下限警告设定；流量单位变更；可选针阀
性能参数
EX700系列气体质量流量计-数字式经济型
量程(N2)
10SCCM-200SLPM
气体
非腐蚀气体，部分腐蚀气体
精度
10SCCM-20SLM
±1.0%FS
50-200SLM
±1.5%FS
重复性
±0.2%FS
响应时间
2秒以内
耐压
1.0Mpa
温度范围
5~50℃
精度保证温度
15~35℃
保存温度
-10~60℃
湿度范围
10-90%RH(不能结露)
材质
本体SUS316、SUS316L
密封圈VITON、NBR、PTFE
电气接口
DB9
通讯
RS485，Modbus-RTU
输出信号
0-5V\1-5V\4-20mA可选
供电电压
+24VD
消耗电路
100mA
管路连接
1/4卡套，20SLM以内
3/8卡套，50-200SLM
可选
针阀
电气连接
DB9针脚定义：
针脚
定义
1针脚
电源 +24V
2针脚
电源 COM
3针脚
报警1
4针脚
报警2
5针脚
报警COM
6针脚
模拟输出
7针脚
485+
8针脚
485-
9针脚
模拟、通讯COM
使用注意
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不**过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不**过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：耐压1.0Mpa，进口压力5公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。
而防爆级别则不能用于气体的使用场所，只是中等级别的防爆定义浮子流量计是现今应用较为广泛的气体流量控制器之一，其广泛的适用性促使越来越多好用的浮子流量计出现多个不同的应用场合首先是流量计的稳定性比较高，当然这是因为厂家在选取用料以及制作工艺上进行严格要求将载气流送入小型毛细管，然后送入检测器，对可疑物质进行检测和定量CT4防爆的C就是厂用级别的意思，T4就是防爆可以承受高温的温度高低级别一些管道式气体质量流量计在管道系统当中可以很好担任监测流量的任务例如：用体积流量为250ml的氦气填充气球，在进气口前端放置一台时开时关的燃烧炉用以间歇性加热管道内气体，由于体积流量计只测量气体的体积流量，所以开始的时候所有气球大小都一样，但若把这些气球都搬到室内使其维持在一个稳定的温度下，便会呈现出各种不同大小而半导体行业中主要的制造设备、制造工序单晶炉则就是由气体质量流量计/气体质量流量控制器等多种设备共同组成的，其中主要由提拉头：包含安装盘、减速机、籽晶腔、划线环、电机、磁流体、籽晶称重头、软波纹管等其他部件组成；副室：副室筒包含以及上下法兰组成；炉盖：包含副室连接法兰、翻板阀、观察窗、抽真空管道组成；炉筒：包括取光孔等；下炉筒：主要包括抽真空管道；底座机架：主要包含全铸铁机架和底座；坩埚下传动装置：主要包含有磁流体、电机、坩埚支撑轴、减速机、软波纹管、立柱、上下传动支撑架、导轨等部件组成；分水器已经水路布置主要包括分水器、进水水管、若干胶管、水管卡套等；管道布置主要包括特殊气体质量流量计/特殊气体质量流量控制器、多根以上的柔性管、不锈钢管、多根压力探测器、高密封性卡套等部件；真空泵以及真空除尘装置主要包含油压真空泵、水环真空泵、过滤器、真空管道、硬波纹管等；电源以及电控柜主要包含电源柜、滤波柜、控制柜、以及连接线等这是由于现场安装环境温度与出厂前实验室调整寸温度有所不同,另外,管线压力与安装状态的变化也会对式气体质量社零点指示产生一定的影响在燃气应用行业以及一些重要的工业领域当中气体质量流量计都是备受重视的*仪器，这种安装于各类管道中对相应气体通过量进行监测记录的设备具有不错的应用价值
要保证被测介质能够完全充满传感器，对于液体要不集气，对于气体要不积液，对于粘稠、脏污、高凝点的介质易排空等，所以输送介质不同，传感器安装方向也不同酵母生物发酵罐酵母菌在有氧和无氧的环境中都能生长这使得一个质量流量控制器可以处理通常需要2-3个控制范围较低的质量流量控制器和2-3条气体管线的流量涡轮流量计特点具有精度高、重复性好、无零点漂移、高量程比等优点这些载体和毛细管流速对气相色谱仪的正确性能至关重要质量流量控制器在各业市场占有率迅速，其主要原因如下：长期以来质量流量控制器的高精度和重复性、多功能性、可靠性、耐固体颗粒性，以及近的低压损和高性能表现2、制造工艺成熟而同时大家啧啧称赞的气体质量流量计各部分的细节工艺达到了行业中比较先进的水准，尤其是如今备受关注的热气体质量流量计设备在一些行业公认比较难的细节工艺方面都拥有令人放心的品质防腐蚀、抗腐蚀性的特种质量流量计/质量流量控制器除具有高精度、高速度性能之外，在泄漏率方面做的很低，非常适用于高真空、强腐蚀、剧毒气体等等在对泄漏率有高要求场合，金属密封，泄漏率：1*10-11pa·m3/s以下，适用于对泄漏率有高要求场合而且大大的缩小了体积，减轻了重量，使防腐蚀、抗腐蚀性的特种质量流量计/质量流量控制器也可以具有小型轻量化的特点?适用于CVD和ALD过程的防腐流量控制器化学蒸汽沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）过程所用腐蚀性气态和液态前驱体需要不会随时间推移而被腐蚀的质量流量仪表