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发布时间：2023-08-07
二手表面缺陷检测设备KLA-Tencor Candela CS10 KLA-Tencor Candela CS10是一款高级光学成像系统，主要用于半导体行业中的工艺控制和质量监控。它提供了高分辨率的表面成像，以帮助制造商检测和解决制造过程中的缺陷和问题。 以下是Candela CS10的一些关键技术参数和功能特点： 分辨率：Candela CS10具有先进的光学系统，可提供高分辨率的成像能力。它能够捕捉到微小的表面特征，并以高精度显示图像的细节。 影像模式：CS10提供了多种影像模式，包括亮场、暗场和偏光模式。这些模式可根据不同应用的需求进行选择，以实现对不同样品的较佳成像效果。 自动化功能：CS10具有自动对焦和自动曝光功能，可以快速而准确地设置较佳的成像参数。这样，操作人员可以节省时间并确保获得一致的成像结果。 缺陷检测和分类：CS10内置了先进的缺陷检测算法，可以实时识别和分析样品表面的缺陷。它能够快速识别并分类各种类型的缺陷，帮助制造商及时采取措施来改善制造过程。 数据分析和报告：CS10配备了强大的数据分析工具，可以对成像结果进行深入分析和处理。它能够生成详细的成像报告，其中包括缺陷统计、图像测量和趋势分析等信息，帮助用户更好地理解和优化制造过程。 KLA-Tencor Candela CS10表面缺陷检测设备是针对半导体行业的表面缺陷的检查分析仪器。该设备利用激光扫描样品的整个表面，通过4个频道（散射光频道、反射光频道、相移频道及Z频道）的探测器所收集到的信号，快速的将缺陷（包括微粒、划伤、坑点、污染、痕迹等）进行分类，统计每一种缺陷的数量并且量测出相应的缺陷尺寸，最后给出整个表面的缺陷分布图以及检测报告。根据预先设定的标准，可以给出检测样品合格与否的判断。 主要特点： ◆ 标准夹具从2英寸到8英寸的样品，也可按需订制； ◆ 可用于透明的材料的表面缺陷检测； ◆ 可侦测的缺陷类型：颗粒，划伤，突起，凹坑，水渍等； ◆ 手动（CS10）和自动传输模式（CS20）； ◆ 双激光系统； ◆ 小颗粒的高灵敏度（80nm）； ◆ 强大的自动缺陷分类、统计分布和判别软件。缺陷分布图以及检测报告内的每一个缺陷都有4个频道拍到的照片储存在设备内部，这些照片可以辅助技术人员分析缺陷的成因及进行相关验证。可同时进行粗糙度、平坦度及膜厚均匀度的量测。其缺陷监测功能可以应用到不同的制程； ◆ 颗粒检测-几乎应用于所有制程的监测； ◆ 液体残留-应用于清洗及研磨； ◆ 表面粗糙度、平坦度- 应用于研磨抛光； ◆ 膜厚均匀度-应用镀膜工艺。 ◆ 内部的过滤器可以保证内部的洁净环境为10级，防止内部污染的同时该仪器还能长期保持稳定准确。拥有优秀的售后服务**体系。 总之，KLA-Tencor Candela CS10是一款高级光学成像系统，具有高分辨率、多样化的影像模式、自动化功能以及强大的数据分析和报告功能。它能够帮助半导体制造商实现工艺控制和质量监控，提高产品的制造效率和一致性。