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X荧光光谱仪随着分光、探测系统及X光管等的不断改善和电子计算机的应用，而得到迅速的推广和发展。可以预料，对新技术、新方法的探索，还会不断促进X荧光光谱仪器的更新发展。
X荧光光谱仪根据其分光原理不同分成波长色散型X荧光光谱仪（波谱仪，WDXRF）和能量色散型X荧光光谱仪（能谱仪，EDXRF），我们通常所说的X荧光光谱仪就是指波长色散的仪器，X荧光光谱仪可对固体、粉末、液体、悬浮物、过滤物、大气飘尘、薄膜样品等进行定性、定量剖析，元素局限13Al-92U，含量局限ppb至，检出限到2pg。
X荧光光谱仪在无损检测方面，具有其他剖析技能无法比较的长处，应用X射线光谱仪扫描办法探测土壤表层下面的是元素是X射线无损检侧技能的一个主要使用范畴，X荧光光谱仪根据有手持和台式两种，所采用的都是X荧光光谱仪的原理，X荧光光谱仪由激发源和探测系统构成，根据各元素的特征X射线的强度，也可以获得各元素的含量信息。
X荧光光谱仪是一种无损的，应用广泛的光谱分析仪器，X荧光光谱仪由激发源和探测系统构成，X射线管产生入射X射线，激发被测样品，受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。
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