价格:36600起
信阳若研仪器设备有限公司
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真空蒸镀仪R-DZD1
真空蒸镀仪R-DZD1 是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪,仪器虽小功能齐全。配备7寸触摸屏人工界面,具有电流时间工艺储存功能。配备有电压 电流反馈,样品台旋转,样品高度调节,及自动电动样品挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率,可对大部分金属(金,银,铜,铬,镍等)和**物进行均匀蒸发沉积。
通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面,称为热蒸发镀膜,热蒸发镀膜技术是历史较悠久的PVD镀膜技术之一。热蒸发镀膜机一般主要用于蒸发Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。以下为蒸发镀膜设备的示意图。
真空蒸镀仪R-DZD1产品参数
控制方式 | 7寸人机界面 手动 自动模式切换控制 |
加热方式 | 数字式功率调整器 |
镀膜功能 | 0-999秒5段可变换功率及挡板位和样品速度程序 |
功率 | ≤1200W |
输出电压电流 | 电压≤12V 电流≤120A |
真空度 | 机械泵 ≤5Pa(5分钟) 分子泵≤10^-3Pa |
挡板类型 | 电控 |
真空腔室 | 石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm |
样品台 | 可旋转φ62 (可安装φ50基底) |
样品台转速 | 8转/分钟 |
样品蒸发源调节距离 | 70-140mm |
蒸发温度调节 | ≤1800℃ |
支持蒸发坩埚类型 | 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 陶瓷坩埚 石英石坩埚 |
预留真空接口 | KF25抽气口 KF16真空计接口 KF16放气口 6mm卡套进气口 |