价格：6380起
晟旗科技（北京）有限公司
联系人：吴志坚
电话：+8613811754233
地址：三间房东路4号院3栋3层
日本KOFLOC EX700系列气体质量流量计-数字式经济型
EX700全新数字式气体质量流量计
EXE-FLOW(TM)是Exact“准确的流量测量”
Excellent以“**的功能”为理念进行产品化。
从小流量(F.S.10scm)到大流量(F.S.200slm)，并准备了11范围标准库存。
搭载新型高性能传感器的低成本模型
小型轻量、单电源DC24V驱动
搭载RS-485通信功能标准
RoHS、CE标准对应
用显示器一体型简单操作：
瞬间/累计流量显示；气体种类切换；CF任意设定
上下限警告设定；流量单位变更；可选针阀
性能参数
EX700系列气体质量流量计-数字式经济型
量程(N2)
10SCCM-200SLPM
气体
非腐蚀气体，部分腐蚀气体
精度
10SCCM-20SLM
±1.0%FS
50-200SLM
±1.5%FS
重复性
±0.2%FS
响应时间
2秒以内
耐压
1.0Mpa
温度范围
5~50℃
精度保证温度
15~35℃
保存温度
-10~60℃
湿度范围
10-90%RH(不能结露)
材质
本体SUS316、SUS316L
密封圈VITON、NBR、PTFE
电气接口
DB9
通讯
RS485，Modbus-RTU
输出信号
0-5V\1-5V\4-20mA可选
供电电压
+24VD
消耗电路
100mA
管路连接
1/4卡套，20SLM以内
3/8卡套，50-200SLM
可选
针阀
电气连接
DB9针脚定义：
针脚
定义
1针脚
电源 +24V
2针脚
电源 COM
3针脚
报警1
4针脚
报警2
5针脚
报警COM
6针脚
模拟输出
7针脚
485+
8针脚
485-
9针脚
模拟、通讯COM
使用注意
一：进气管道上建议安装上的过滤器、油水分离器使用，保证气体的干燥干净《湿度不**过90%(一定不能进水)、杂质粉尘不**过20微米》。
二：用肥皂水对管路进行泄漏检测时，只能将肥皂水喷洒在管路接头上，不能喷在仪表或电气插头上。
三：安装前，请将设备管路进行整体吹扫。
四：耐压1.0Mpa，进口压力5公斤。
五：需要进行零点漂移清零的时候，确认进/出口没流量没压力下 再操作。
而这半导体行业中较常用的化学气相沉积法整个过程中各种气体的比例控制依靠气体质量流量计/质量流量控制器来实现则就显的尤为重要而对于其安装环境必须要满足洁净无尘埃的要求，因为气体质量流量控制器所使用的介质气体必须洁净、无水汽与无凝洁，若是周边有尘埃存在，容易导致介质气体受污染这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等比如控制按键显示单位、切换按键显示功能、切换不同的测量值以及读取历史旧数据等，这些操作都可通过软件编程实现，另外电磁调节阀门对流体流量的控制与调整也需要编制相应的变化条件因为当前的环境和使用场所在不断的变化，想要让流量计在很大程度上符合消费者的要求，那么就需要不断的更新流量计的性能，因为流量计的设计理念先进能够不断的更新，所以未来也会有很好的发展那么是很难得到客户的接受被测流体冲击涡轮叶片，使涡轮旋转，涡轮的转速随流量的变化而变化，即流量大，涡轮的转速也大，再经磁电转换装置把涡轮的转速转换为相应频率的电脉冲，经前置放大器放大后，送入显示仪表进行计数和显示，根据单位时间内的脉冲数和累计脉冲数即可求瞬时流量和累积流量开关气体在线校准，利用工作范围广、响应速度快等优点，使数据采集变得轻而易举动电磁流量计主要由流量传感器和信号转换器两部分组成
在一个动态系统中，你的混合物可能不总是两种固定比例的气体，如果气体比例发生变化，那么你会怎么做？在为混合设置选择质量流量控制器时，仔细考虑潜在的混合过程是非常重要的在这些领域，精度、便捷、快速都是关键特性流量范围0.5SCCM-5000SLPM可自行修改流量单位如kg/h、g/min等标定气体内置90条气体可选择精度(调零后)±(0.8%Rd+0.2%FS)高精度(调零后)±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM重复性±0.2%FS漂移(零点/满量程)0.02%F.S/oC/Atm工作范围0.5-响应时间100毫秒(调整)启动预热时间1秒内标准工况25oC&14.696psia，可自定义修改工作温度范围-10~-50℃(另有高温订制品)工作湿度范围0-RH(非冷凝)工作压力10Bar安装方向任意阀门状态常闭材质SUS302\303\304不锈钢、密封圈VITON显示屏背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度数字信号标准RS232选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/ModbusTCP-IP)模拟信号标准0-5V/1-5V/0-10V选配:4-20mA*二路模拟信号标准0-5V/1-5V/0-10V选配:4-20mA电气接口标准圆形8芯选配:圆形6芯、DB9、DB15供电电压+24VDC消耗电流20SLPM以内：250mA50SLPM以内：750mA注：5000SLPM消耗2000mA电流流量范围0.5SCCM-1000SLPM可自行修改流量单位如kg/h、g/min等标定气体内置90条气体可选择精度(调零后)±(0.8%Rd+0.2%FS)高精度(调零后)±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM重复性±0.2%FS漂移(零点/满量程)0.02%F.S/oC/Atm工作范围0.5-响应时间100毫秒(调整)启动预热时间1秒内标准工况25oC&14.696psia，可自定义修改工作温度范围-10~-50℃(另有高温订制品)工作湿度范围0-RH(非冷凝)工作压力3Bar安装方向任意阀门状态常闭材质SUS302\303\304不锈钢、密封圈VITON显示屏背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度数字信号标准RS232选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/ModbusTCP-IP)模拟信号标准0-5V/1-5V/0-10V选配:4-20mA*二路模拟信号标准0-5V/1-5V/0-10V选配:4-20mA电气接口标准圆形8芯选配:圆形6芯、DB9、DB15供电电压+24VDC消耗电流2SLPM以内：250mA5SLPM以上：750mA注：1000SLPM消耗2000mA电流流量范围0.5SCCM-5000SLPM可自行修改流量单位如kg/h、g/min等标定气体内置130条气体可选择，含腐蚀气体精度(调零后)±(0.8%Rd+0.2%FS)高精度(调零后)±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM重复性±0.2%FS漂移(零点/满量程)0.02%F.S/oC/Atm工作范围0.5-响应时间100毫秒(调整)启动预热时间1秒内标准工况25oC&14.696psia，可自定义修改工作温度范围-10~-50℃(另有高温订制品)工作湿度范围0-RH(非冷凝)工作压力10Bar安装方向任意阀门状态常闭材质SUS316L不锈钢、密封圈FFKM(Kalrez)显示屏背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度数字信号标准RS232选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/ModbusTCP-IP)模拟信号标准0-5V/1-5V/0-10V选配:4-20mA*二路模拟信号标准0-5V/1-5V/0-10V选配:4-20mA电气接口标准圆形8芯选配:圆形6芯、DB9、DB15供电电压+24VDC消耗电流20SLPM以内：250mA50SLPM以内：750mA美国捷迈GEMS32IS系列压力传感器-高压/防爆型?32IS系列具有较高的性价比，是适合OEM用户的高性能高可靠性和高稳定性的新一代产品；多种电气输出及多种压力接口和电气连接形式满足绝大多数的应用要求；结构非常紧凑，特别适合于空间狭小的场合而想要让半导体业迅速发展那么就必须使用到一些高的测量气体仪器，而这些高的测量仪器有很多种，每一种的适用领域都是非常广泛的，就像质量流量计/质量流量控制器就是这些高测量仪器中的一种，不过这款测量仪器的工作原理与其他的测量仪器有根本上的区别氧化碳通过多孔的石头，在容器底部产生了气泡防腐蚀、抗腐蚀性的特种质量流量计/质量流量控制器用来测量各种酸碱、有毒气体、有害气体、泥浆、纸浆等气体或着液体介质的质量流量质量流量控制器既具有自动控制气体流量的作用，又具有测量气体及液体的质量的作用流量范围0.5SCCM-5000SLPM可自行修改流量单位如kg/h、g/min等标定气体内置90条气体可选择精度(调零后)±(0.8%Rd+0.2%FS)高精度(调零后)±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM重复性±0.2%FS漂移(零点/满量程)0.02%F.S/oC/Atm工作范围0.5-响应时间100毫秒(调整)启动预热时间1秒内标准工况25oC&14.696psia，可自定义修改工作温度范围-10~-50℃(另有高温订制品)工作湿度范围0-RH(非冷凝)工作压力10Bar安装方向任意阀门状态常闭材质SUS302\303\304不锈钢、密封圈VITON显示屏背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度数字信号标准RS232选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/ModbusTCP-IP)模拟信号标准0-5V/1-5V/0-10V选配:4-20mA*二路模拟信号标准0-5V/1-5V/0-10V选配:4-20mA电气接口标准圆形8芯选配:圆形6芯、DB9、DB15供电电压+24VDC消耗电流20SLPM以内：250mA50SLPM以内：750mA注：5000SLPM消耗2000mA电流流量范围0.5SCCM-1000SLPM可自行修改流量单位如kg/h、g/min等标定气体内置90条气体可选择精度(调零后)±(0.8%Rd+0.2%FS)高精度(调零后)±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM重复性±0.2%FS漂移(零点/满量程)0.02%F.S/oC/Atm工作范围0.5-响应时间100毫秒(调整)启动预热时间1秒内标准工况25oC&14.696psia，可自定义修改工作温度范围-10~-50℃(另有高温订制品)工作湿度范围0-RH(非冷凝)工作压力3Bar安装方向任意阀门状态常闭材质SUS302\303\304不锈钢、密封圈VITON显示屏背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度数字信号标准RS232选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/ModbusTCP-IP)模拟信号标准0-5V/1-5V/0-10V选配:4-20mA*二路模拟信号标准0-5V/1-5V/0-10V选配:4-20mA电气接口标准圆形8芯选配:圆形6芯、DB9、DB15供电电压+24VDC消耗电流2SLPM以内：250mA5SLPM以上：750mA注：1000SLPM消耗2000mA电流流量范围0.5SCCM-5000SLPM可自行修改流量单位如kg/h、g/min等标定气体内置130条气体可选择，含腐蚀气体精度(调零后)±(0.8%Rd+0.2%FS)高精度(调零后)±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM重复性±0.2%FS漂移(零点/满量程)0.02%F.S/oC/Atm工作范围0.5-响应时间100毫秒(调整)启动预热时间1秒内标准工况25oC&14.696psia，可自定义修改工作温度范围-10~-50℃(另有高温订制品)工作湿度范围0-RH(非冷凝)工作压力10Bar安装方向任意阀门状态常闭材质SUS316L不锈钢、密封圈FFKM(Kalrez)显示屏背光LCD显示屏，同时显示流量、压力、温度数字信号标准RS232选配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet以太网RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/ModbusTCP-IP)模拟信号标准0-5V/1-5V/0-10V选配:4-20mA*二路模拟信号标准0-5V/1-5V/0-10V选配:4-20mA电气接口标准圆形8芯选配:圆形6芯、DB9、DB15供电电压+24VDC消耗电流20SLPM以内：250mA50SLPM以内：750mA美国捷迈GEMS32IS系列压力传感器-高压/防爆型?32IS系列具有较高的性价比，是适合OEM用户的高性能高可靠性和高稳定性的新一代产品；多种电气输出及多种压力接口和电气连接形式满足绝大多数的应用要求；结构非常紧凑，特别适合于空间狭小的场合3.安装环境周边无电磁干扰据众多气体质量流量控制器生产厂家反馈，流量控制器除了易受振动及应力干扰外，部分流量控制器还易受电磁干扰