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X荧光光谱仪优点：
1、分析速度高。测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟可以测完样品中的全部待测元素；
2、X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系。(气体密封在容器内也可分析)但是在高分辨率的精密测定中却可看到有波长变化等现象。特别是在**软X射线范围内，这种效应更为显著。波长变化用于化学位的测定；
3、非破坏分析。在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象。同一试样可反复多次测量，结果重现性好；
4、X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析；
5、分析精密度高；
6、制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。
X荧光光谱仪是一种快速的、非破坏式的物质测量方法，X射线荧光是用高能量X射线或伽玛射线轰击材料时激发出的次级X射线，这种现象被广泛用于元素分析和化学分析，特别是在金属，玻璃，陶瓷和建材的调查和研究，地球化学，法，考古学和艺术品，例如油画和壁画。
X荧光光谱仪是一种无损的，应用广泛的光谱分析仪器，X荧光光谱仪由激发源和探测系统构成，X射线管产生入射X射线，激发被测样品，受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。
X荧光光谱仪在无损检测方面，具有其他剖析技能无法比较的长处，应用X射线光谱仪扫描办法探测土壤表层下面的是元素是X射线无损检侧技能的一个主要使用范畴，X荧光光谱仪根据有手持和台式两种，所采用的都是X荧光光谱仪的原理，X荧光光谱仪由激发源和探测系统构成，根据各元素的特征X射线的强度，也可以获得各元素的含量信息。
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