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昆山熙日机械设备有限公司
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ULVAC罗茨泵维修
PMB系列：PMB100D、PMB300D、PMB600D、PMB1200D、PMB2400D
PRC系列：PRC-003A、PRC-006A、PRC-012A、PRC-018A
PMB-C系列：PMB-040C、PMB-060C
VSN1501 / VSN2401 油旋片式真空泵
特长
能对应全压强领域的连续运转
采用高吸气压强也能稳定运转的强制运转的供油方式和缸体的水冷方式。选用油雾过滤器、油回收装置、及耐热型密封件后，真空泵就能在大气压以下的全压强范围内连续运转。
实现了低噪音
由于采用了极限压力时降低运转声音的结构，VSN1501、VSN2401的噪音能低于74dB（A）（到达极限压力时并带有油雾过滤器、在离泵1米处的测定值）。
实现了低震动
由于采用的旋片结构，能达到高速化（50Hz、1500r/min），大大降低了震动传导大的低频领域的震动。因此无须大规模的基础工程，也容易安置于工厂厂房的2楼、3楼。
的维修性能
为方便日常保养工作，油量确认、油补充、油更换的方向为同一操作方向。
为延长油的补充期，采用了8～10.5L的可变油量。
用途
• 镀膜、溅射、离子镀。
• 气体置换、充填、真空隔热。
• 真空热处理炉、烧结炉、钎焊炉。
• 真空干燥、冷冻干燥、真空脱气。
• 检漏装置、真空成形、真空铸造。
• 真装、真空吸附、搬送、其它。
NRL60A / NRL90A / NRL180A干式真空泵
特长
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外，尤其适用于希望提高流量，缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。
低噪音、低振动
优良的耐腐蚀性
标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀表面处理，降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。
选购件
可选购、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。
用途
• 活性气体（CVD、刻蚀等）。
• 排出非活性气体（溅射镀膜、 蒸气镀膜、热处理、液晶注入等）。
• 用于产生粉尘工艺中的排气（Si单晶炉等）
• 作为前级泵使用（涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵）。
• 冷冻干燥等水蒸气排气。
