价格:面议
青岛晨立电子有限公司
联系人:姜经理
电话:13869885308
地址:山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼
主要技术指标: 炉管数:1~4管 配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸) 恒温区长度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃) 760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃) 单点稳定性: ±1.0℃/24h (300~800℃) ±0.5℃/24h (800~1280℃) 气源路数: ≤7路,可配恒温源瓶、氢氧合成点火器 气体控制: 浮子/质量流量计 悬臂舟参数: 速度: 20~1000 mm/min 行程:2000 mm 定位精度:±1 mm 载荷:17 Kg **净工作台: 净化等级:100级(万级厂房) 噪音: ≤62dB(A) 振动: ≤3μm 设备特点:单元组合方式。根据工艺的不同,可以在主机的基础上配气源柜、**净工作台、悬臂推拉舟等。 晨立扩散炉设备,技术和质量已达国际水平,受到半导体设备制造企业和半导体行业高度关注.可完全替代国外同规格产品满足不同工艺的要求。