价格:32800起
郑州科探仪器设备有限公司
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质量流量计桌面小型500W等离子清洗机, 等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有*四种状态存在,如地球大气中电离层中的物质。等离子体状态中存在下列物质:处于高速运动状态的电子;处于激活状态的中性原子、分子、原子团(自由基);离子化的原子、分子;未反应的分子、原子等,但物质在总体上仍保持电中性状态。等离子清洗/刻蚀机产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电场,用真空泵实现一定的真空度,随着气体愈来愈稀薄,分子间距及分子或离子的自由运动距离也愈来愈长,受电场作用,它们发生碰撞而形成等离子体,这些离子的活性很高,其能量足以破坏几乎所有的化学键,在任何暴露的表面引起化学反应,不同气体的等离子体具有不同的化学性能,如氧气的等离子体具有很高的氧化性 638150131816564319302.jpg 质量流量计桌面小型500W等离子清洗机KT-Z5KQX 供电电源 AC220V(AC110V可选) 工作电流 整机工作电流不大于3.5A(不含真空泵) 射频电源功率 500W可调 射频频率 40kHz 耦合方式 电容耦合 真空度 ≤30Pa 腔体容积 5L(内径 152mmX 深度 280mm) 载物规格 125mmX260mm 气体流量 0—50ml/min(其他量程可选) 气体路数 2 路质量流量计+精密流量控制阀 过程控制 自动控制 清洗时间 手动开关 开盖方式 铰链侧开式法兰 真空室温度 小于65°C 外形尺寸 450x450x250mm 冷却方式 强制风冷 标配 KF16真空管1米,kf16卡箍2个,不锈钢网匣1个,电源线一根,说明书一本,机械泵一台