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效率高 贵州普发真空泵维修 普发罗茨泵OKTA8000保养
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昆山熙日机械设备有限公司
联系人:张小力
电话:13913143077
地址:江苏苏州昆山市宝益路101号502室
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关 键 词:贵州普发真空泵维修
行 业:机械 泵 真空泵
发布时间:2023-06-09
上海伯东普发 ,Pfeiffer 真空泵在高精度表面加工中的应用
随着科技不断发展, 对工件加工的精度要求越来越高, 比如天文观测台运用的凹透镜, 在其生产过程中需要对透镜进行打磨和抛光, 达到 150 到 30 Nm 的精度. 实现这一精度**方法是使用离子束加工透镜及其他光学元件, 离子束加工具有可以控制, 污染少, 加工应力小, 热变形小, 加工表面质量高等优点. 这种技术可对外形进行准确的修正, 从而产生**高质量的表面.
离子束加工需要真空条件
离子束加工利用具有较高能量的离子束射到材料表面时所发生的撞击效应, 溅射效应和注入效应来进行不同的加工. 由于离子束轰击材料是逐层去除原子, 所以可以达到纳米级的加工精度.
离子束加工是在真空条件下先由电子产生电子束, 再引入已抽成真空且充满惰性气体的电离室中, 使低压惰性气体离子化. 由负极引出阳离子又经加速, 集束等步骤, 获得具有一定速度的离子投射到材料表面, 产生溅射效应和注入效应. 由于离子带正电荷, 其质量比电子大数千, 数万倍. 所以离子束比电子束具有更大的撞击动能, 通过微观的机械撞击能量进行加工. 昆山熙日普发, Pfeiffer 真空泵目前广泛应用于高精度表面加工应用中.
普发 ,Pfeifer 高精度表面加工客户案例: 某国际生产各种规模离子束加工设备厂商, 其生产的设备不仅应用于天文学, 还用于 EUV 光刻技术和传统的光学应用. 其代表设备用于加工天文大规格透镜, 真空腔室配置罗茨泵组和分子泵, 在非常短的时间内提供 10-6 hPa 真空, 加工过程不会在表面上留下任何痕迹或张力, 并且几乎可以加工任何几何形状或材料.
PFEIFFER SPLITFlow310 3p 整体310比290的长度要长!可以抽的接口面积要da! SplitFlow 涡轮分子泵的抽速范围一般在690 l/s 到 10 l/s。 为便携式分析系统开发的小型涡轮分子泵的抽速范围介于 10 l/s 到 0.1 l/s 之间。 涡轮转子都用单一块铝合金整体加工而成,重量xiao化, 分子泵可以在360度范围内以任意角度工作而*任何调整? SplitFlow 涡轮分子泵的抽速范围一般在690 l/s 到 10 l/s。
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干泵维修保养使用时的安全注意事项
› 当维修干泵上方的主开关设置为“0”时,电源接口和主开关之间依然是带电的。如果接触的话会有触电的危险。在服务之前确保将主电源线断开。
› 针对P 和H 型泵。如果没有氮气流量将会造成严重危害,因此氮气流量需要由工艺设备进行,没有氮气流量时需要有信号提供给工艺设备,如必要还需要互锁。
› 如果**LEL(爆炸极限低点)含量的易燃物质进入干泵,那么氮气吹扫的流量一定要进行控制确保降低该易燃物质的含量至LEL 以下,同时工艺设备需要在干泵氮气流量太低或无氮气时停止工艺气体进入真空泵。
› 如果没有冷却水或冷却水流量不够对真空泵将会造成严重危害,因此冷却水流量需要由工艺设备进行。
› 如果工艺中有任何腐蚀性的,易反应的,易燃的或氧化性强的介质进入真空泵,则需要在排气口安装装置,确保当排气口不排气时停止工艺气体进入真空泵。另外,也需要当氮气流量不够时停止工艺气体进入干泵。
› 如果有易燃物质进入干泵,用户需要在排气口提供可以检测LEL 的装置(能够检测到25%的LEL 的仪表),当检测到易燃气体含量达到25%的LEL 值时停止进入真空泵的气体。
上海蓝宏电子提示注意事项:
› 干泵停机时,内部元件(系统,变频器)包含充电大于60 VDC 的电容,依然带电。接触有可能造成严重的伤害。在停泵后,等待1 分钟再打开真空泵。
› 氮气吹扫和冷却水管路都是有正压的危险能源。在服务之前请释放压力:
› - 对于氮气吹扫,断开氮气管路快速接头并顺时针关闭减压阀;
› - 对于冷却水管路,断开进水接头并保持出水管路连接。等待1 分钟后,断开出水接头。
› Alcatel 并不能控制进入真空泵的气体种类。通常,工艺气体是有毒的,易燃的,有腐蚀性的,易爆的或易发生反应的。由于这些气体可能会造成受伤甚至与,因此将排气口连接到包含过滤装置或洗涤装置的尾气处理系统是非常重要的,以保证终的排放气体符合空气标准。
›
› 泵的电机通过真空泵的电气箱内配置了过载保护 - RT1 开关(ADP 泵)和RT2 开关(罗茨泵),该互锁必须在安装,使用和维护时保证运行。一旦过载保护激活,则电源会切断,真空泵处于安全状态。当真空泵出错时,必须先将错误纠正然后再清除错误。要清除错误,需要将主开关关闭,打开电气箱并将相关保护开关重置为“1”。
› 干泵配置了紧停(EMO)回路。当紧停激活时,真空泵进入安全停机状态。若要外部使用,真空泵J1 接口上的两个干接点针脚1 和4 可以提供使用。真空泵的EMO 也可以通过J1 接口上的针脚2 和3 进行外部。
› EMO 回路由机电元件构成。对其复位将不会激活真空泵。
维修干泵的加油
› 警告!真空泵发运时并没有加油,油和泵分开发运。同样,建议客户在退回真空泵之前也将油排放。
› 真空泵出厂测试时使用的是Alcatel 113 合成油。
› 矿物油与合成油不能混在一起使用,我们建议用户依然使用该润滑油。
油位应当在油位视窗的一半
德国普发干式螺杆真空泵维修保养主要更换配件:
1、真空泵密封套件,真空泵长期使用后密封套件因为泵体的拆后而会损坏
2、真空泵油雾分离器,真空泵喷油、冒出黑烟实际上就是真空泵油雾分离器己经失效,无法达到分离泵油跟气体的目的,从而从真空泵排气口里喷出少量的真空泵油跟大量黑烟,选择原装**的油雾分离器对于真空泵的整体寿命都是至关重要的。
3、真空泵油过滤器,经常更换泵配件之一,主要用于过滤油内杂质等不明异物,达到保护真空泵的目的,如果使用不合格的真空泵油真空泵油过滤器跟油雾分离器较容易损坏,造成更大的损失。
4、真空泵油,真空泵油是维修保养真空泵必换的常用消耗品之一,泵油也是积存杂质不明物体的地方,真空泵核心消耗品之一,如果不即时更换或加入真空泵油,较容易损坏真空泵的正常工作。
5、轴承、轴封,真空泵高速动转当中由于泵启动会造成真空泵突发性的高速运转,轴承在这样的长期使用当中会不断的磨损折旧造成损坏失灵,如果轴承失灵真空泵转子将有略为偏移造成叶片与缸体摩擦而损坏叶片。
6、真空泵叶片,3片一套,真空泵长期使用当中如果噪音,可考虑叶片损坏或者有不明物体进入缸体内部造成摩擦的故障,如果此类问题应及时处理,以免故障问题。
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昆山熙日机械设备有限公司从事pfeiffer干泵维修。昆山熙日机械是正规的维修工厂,拥有完整的维修SOP。pfeiffer A124H普发干泵维修保证质量,pfeiffer干泵A124H维修基本无返修状况,pfeiffer真空泵维修收费合理,pfeiffer真空泵维修服务品质到位,是供应商理想的选择!
昆山熙日机械设备有限公司,致力于干泵维修,干泵保养,翻新进口真空泵服务及进口真空维修技术支持。
目前主要维修的:法国Alcatel阿尔卡特干泵,美国Agilent安捷伦干式涡轮泵,德国Leybold莱宝干泵,日本EBARA荏原干泵,德国BUSCH普旭干泵,德国BECKER贝克干泵,美国WELCH韦尔奇干式WOB-L活塞泵,德国Pfeiffer普发干式真空泵,英国Edwards爱德华小型湿/干泵,日本ULVAC爱发科干式真空泵,美国GAST嘉士达干泵,德国Rietschle里其乐干泵,日本Orion好利旺干式真空泵,日本IWATA岩田无油涡旋式干泵,日本Kashiyama樫山干泵。
干式真空泵常见故障:
液体侵入
灰尘堆积
抽取稀有贵重气体
在极限压力下运行
不当的温度波动
温度控制
快速抽空
启动泵
PFEIFFER Adixen A124H Multi Stage Dry Process Pump
ALCATEL ADIXEN 干式真空泵 A4X 系列应用:
涂料行业:光伏和 LED
半导体:(蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等)
PFEIFFER干式真空泵 A4X 系列优势:
设计,避免真空泵发生爆裂或可冷凝物沉积
配置氮气吹扫阀,耐粉尘
耐腐蚀设计,使用寿命长
通过 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准
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