价格：1000.00起
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| 产品名称 | VTC-200-SE 8寸柜式喷胶机 | |
| 产品型号 | VTC-200-SE | |
| 主要参数 | 1、电源：AC220V，50HZ，1.5KW 2、工作环境：湿度：20-90%，温度20-30℃ 3、处理Wafer尺寸：200mm以下，向下兼容 4、热盘温度控制：室温至200℃，控温精度±0.5℃，工作区温度均匀性 小于±1% 5、基片顶升系统：顶升高度0-15mm，高度分辨率0.1mm 胶液流速范围 1-20ml/min可调 6、热盘电机额定转速：1000rpm 7、XY电缸移动速度：X轴200mm/s，Y轴200mm/s 8、XY电缸有效行程：300mm×300mm 9、超声波雾化粒径：30-50μm 10、操作系统：人机互动界面，PLC控制 11、喷嘴移动方式：电动机械组合XYZ三轴电缸 | |
| 产品规格 | 1、机器尺寸：1000mm×880mm×1800mm （长×宽×高） 2、重量：55Kg | |
