主要用途

此系列阀门为气动驱动方式，它具有动作平稳、开启高度大、使用可靠、密封性能好和寿命长等优点，是真空设备自动化阀门之一。阀门是以压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，执行气缸驱动阀板作启闭运动。阀门的介质为空气及非腐蚀性气体。

主要特点

标准化、模块化设计，易于更换及维修；便于清洁的设计；阀体材料为不锈钢。

主要参数

适用范围：5.3×10-5Pa～1.2×105Pa；（氟橡胶）

       5.3×10-6Pa～1.2×105Pa；（波纹管）

打开时阀针上的压差：≤5×103Pa任意方向；

阀体和阀座漏率：<1.3×10-7Pa·L·s-1

**保养循环次数：100，000次；

阀体烘烤温度：≤150℃；

气动阀门开关：0.5～0.7MPa；（压缩空气）；

安装位置：密封面朝向真空；

电源：气动驱动：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W；（除上述规格，特殊规格可定做）；

阀门开启或关闭时间：≤5s；

阀门位置指示

-气动驱动：带有启闭位置指示开关（磁性开关）；