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鹏城半导体技术（深圳）有限公司
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热丝法化学气相沉积CVD金刚石（热丝CVD金刚石设备） 鹏城半导体研发设计制造了热丝CVD金刚石设备，分为实验型设备和生产型设备两类。 设备主要用于微米晶和纳米晶金刚石薄膜的研发和生产。可用于力学级别、热学级别、光学级别、声学级别的金刚石产品的研发生产。 可以制造大尺寸金刚石多晶晶圆片，用于大功率器件、高频器件及大功率激光器的散热热沉。 可用于生产制造防腐耐磨硬质涂层；环保领域污水处理用的金刚石产品。 可用于平面工件的金刚石薄膜制备，也可用于刀具表面或其它不规则表面的金刚石硬质涂层制备。 可用于太阳能薄膜电池的研发与生产。 平面工作尺寸 圆形平面工作的尺寸：φ600mm。 矩形工作尺寸的宽度600mm/长度可根据镀膜室的长度确定（如：工件长度1200mm）。 配置冷水样品台。 可单面镀膜也可双面镀膜。 热丝电源功率 可达300KW，1KW ～300KW可调（可根据用户工艺需求配置功率范围） 设备安全性 -电力系统的检测与保护 -设置真空检测与报警保护功能 -冷却循环水系统压力检测和流量检测与报警保护 -设置水压检测与报警保护装置 -设置水流检测报警装置 设备构成 真空室构成 双层水冷结构，立式圆形、立式D形、立式矩形、卧式矩形,前后开门，真空尺寸,根据工件尺寸和数量确定。 热丝 热丝材料：钽丝、或钨丝 热丝温度：1800℃～ 2500℃ 可调 样品台 可水冷、可加偏压、可旋转、可升降 ，由调速电机控制，可实现自动升降，（热丝与衬底间距在5 ～ 100mm范围内可调），要求升降平稳,上下波动不大于0.1mm。 工作气路（CVD） 工作气路根据用户工艺要求配置： 下面气体配置是某一用户的配置案例。 H2(5000sccm，浓度**) CH4(200sccm，浓度**) B2H6（50sccm，H2浓度99%） Ar(1000sccm，浓度**) 真空获得及测量系统 控制系统及软件 生产型热丝CVD金刚石设备 可制备金刚石面积-宽600*1200mm