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关 键 词：NX2000
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发布时间：2023-05-29
日立 FIB-SEM三束系统NX2000 产品介绍： 追求最完美的TEM样品制备工具 在尖端设备及高性能纳米材料的评价和分析领域，FIB-SEM已成为不可或缺的工具。 近来，目标观察物更趋微细化；更薄，更低损伤样品的制备需求更进一步凸显。 日立高新公司，整合了高性能FIB技术和高分辨SEM技术，再加上加工方向控制技术以及Triple Beam?＊1（选配）技术，推出了新一代产品NX2000 产品特点： 运用高对比度，实时SEM观察和加工终点检测功能，可制备厚度小于20 nm的超薄样品 FIB加工时的实时SEM观察＊2例 样品：NAND闪存 加速电压：1 kV FOV：0.6 μm
