本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通风装置：需要

技术参数

1、电源：AC 220V   50Hz/60Hz  9KW

2、氧化铝陶瓷管：外径Ø60mm，内径Ø54mm，长1000mm

3、加热元件：温区I为1500℃级硅碳棒，温区II为1800℃级硅钼棒

4、加热区域：每个温区300mm

5、工作温度：800℃-1400℃（温区I），800℃-1700℃（温区II）

6、升温速率：温区I为20℃/min，温区II为10℃/min

7、控温精度：±1℃

8、热电偶：B型

产品规格

尺寸：780mm×450mm×720mm；重量：150kg

标准配件

1

氧化铝管

1根

2

不锈钢法兰

1套

可选配件

1、KF25转接头

2、VCR双卡套接头

3、数字真空计

4、铰链式法兰