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郑州科创实验仪器设备有限公司
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KT-Z1650CVD 是一款小型台式加热功率可控蒸发镀膜仪，仪器虽 小功能齐全。配备 7 寸触摸屏人工界面，具有电流时间工艺储存功 能。配备有电压 电流反馈,样品台旋转，样品高度调节，及自动电动 样品挡板功能。通过定时调节预热功率及蒸发功率，可对大部分金 属（金，银，铜，铬，镍等）和**物进行均匀蒸发沉积。真空腔 室为透明石英玻璃减少样品污染，样品台可旋转以获得更均匀的薄 膜，可制备各种金属薄膜和**物薄膜。 三：主要技术要求 1． 控制方式：7 寸人机界面 手动 自动模式切换控制 2． 加热方式：数字式功率调整器 3． 镀膜功能：0-999 秒 5 段可变换功率及挡板位和样品速度程 序 4． 最大功率：≤1200W 5． 较大输出电压电流：电压≤12V 电流≤120A 6． 真空度：机械泵 ≤5Pa（5 分钟） 分子泵≤10^-3Pa 7． 挡板类型：电控 8． 真空腔室：石英+不锈钢腔体φ160mm x 160mm 9． 样品台：可旋转φ62 （较大可安装φ50 基底） 10． 样品台转速：8 转/分钟 11． 样品蒸发源调节距离：70-140mm 12． 蒸发温度调节：≤1800℃ 13． 支持蒸发坩埚类型： 钨丝蓝 带坩埚钨丝蓝 钨舟 碳绳 陶瓷坩埚 石英石坩埚 14． 预留真空接口：KF25 抽气口 KF16 真空计接口 KF16 放 气口 6mm 卡套进气口 四：主要配置要求 1．1 台 • 小型蒸镀仪 KT-Z1650CVD 主机 2．1 个 • 真空挡板阀 KF25 接口 3. 1 个 • 放气阀 KF16 接口 4. 1 个 • 52T 真空计 KF16 5. 1 台 • （选配）分子泵真空机组，机械泵