MC系列气体质量流量控制器是我们的标准质量流量控制器，其型号众多，可测量高达5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。若管线压力较高（145-305 psig），请选择MCQ系列高压气体质量流量控制器。MCW系列低压损气体质量流量控制器适用于低压损应用环境、泄漏测试，也能缩短50 scccm或更低流速条件下的气动响应时间。若您需要现有热式质量流量控制器的简易替换件，MCE系列真空气体质量流量控制器将阀门置于内部，使其工艺连接件与SEMI标准长度相符。对于真用应用，MCV系列真空气体质量流量控制器是在MCE系列的基础上另增加一气动截止阀。BASIS系列OEM气体质量流量控制器是艾里卡特的紧凑型质量流量控制器系列，专门设计用于OEM应用和大量订单环境。为满足生物反应器市场的需求，Alicat发布了世界上**专门用于生物行业的BIO系列气体质量流量控制器。