多导毛细x荧光元素分析仪半导体
价格:900000.00起
苏州实谱仪器有限公司
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关 键 词:多导毛细x荧光元素分析仪半导体
行 业:仪器仪表 机械量测量仪表 测厚仪
发布时间:2023-04-22
多导毛细管聚焦X射线荧光镀层测厚仪产品详细资料介绍,多导毛细管聚焦X射线荧光镀层测厚仪产品报价和详细配置请咨询苏州实谱仪器有限公司提供毛细管镀层测厚仪产品原理和应用测试方案。x射线荧光光谱XRF在晶圆测试中被广泛应用
产品优势
1. 镀层检测,多镀层检测可达 5 层;镀层测量精度 0.001μm;
2. **大可移动全自动样品平台 520*520mm (长*宽),样品移动距离 500*500mm ;
3. 激光定位和自动多点测量功能;
4. 运行及维护成本低、无易损易耗品,对使用环境相对要求低;
5. 操作简单、易学易懂、无损、、高性能、高稳定性,快速出检测结 果 (3-30 秒) ;
6. 可针对客户个性化要求量身定做分析配置硬件;
7. 软件终身免费升级;
8. 无损检测,一次性购买标样可*使用;
9. 使用安心**,售后服务响应时间 24H 以内,提供保姆式服务;
10. 可以远程操作,解决客户使用中的后顾之忧。
产品配置及技术指标说明
X 射线光管:50KV ,1mA 钼钯
检测系统:FAST SDD 探测器
检测元素范围:Al ( 13) ~ U(92)
应用程序语言:英/中
测量原理:能量色散X射线分析
分辨率:125±5eV
焦斑直径:15μm
分析方法:FP/校准曲线,吸收,荧光
样品移动距离:可设置
1. X 射线管:高稳定性 X 光光管,使用寿命(工作时间>20,000 小时)
微焦点x 射线管钼钯
焦斑直径:15μm
2. 探测器:FAST SDD探测器 能量分辨率:125±5eV
3. 平台:软件程序控制步进式电机驱动 X-Y 轴移动大样品平台。 激光定位、简易荷载大负载量为 5 公斤
软件控制程序进行持续性自动测量
4. 样品定位:显示屏上显示样品锁定、激光定位及拍照功能
1. 高性能高精度X荧光光谱仪 (XRF)
2. 计算机 通道逐次近似计算法 ADC (模拟数字转换器)
运用基本参数 (F软件,通过简单的三步进行无标样标定,使用 基础参数计算方法,对样品进行的镀层厚度分析
3. (多层薄膜基本参数法) 模块进行镀层厚度
毛细管镀层分析产品特点:
1、多导毛细光学系统和高性能SDD探测器:区别金属准直,多导毛细管可将光束缩小至10 μm,同时得到数千倍的强度增益。可测量**微小样品的同时大程度保证了测试的准确性及稳定性。
2、微米级**小区域:在Elite-X光学系统设计下大大降低检出限,纳米级**薄镀层均可准确、可靠测试
3、广角相机:样品整体形貌一览无余,且测试位置一键直达
4、搭配高分辨微区相机:千倍放大*对焦测试区域,搭配XY微米级移动平台,三维方向对焦聚焦测试点位,误差<±2 μm
5、多重保护系统:V型激光保护,360°探入保护,保护您的样品不受损害,保证仪器安全可靠的运作
6、全自动移动平台:可编程化的操作,针对同一类型样品,编程测试点位,同一类样品自动寻路直接测试
7、人性化的软件:搭配EFP核心算法软件,人机交互,智慧操作
8、可搭配全自动进送样系统