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如果含有标准物质，就需要用多重分裂的方式来进行拟合，XPS测出来的原子比和化学式中的原子比不一样是正常的吗，比如说TiO2，很后测出来O：Ti不是2：答：这个是非常正常的，在小白班di一节课我们强调了XPS是探测表面3-10nm的技术，但是我们都知道，表面和体相是不一样的，表面是容易被吸附到污染物质，且容易造成氧空位，下面以**级电容器Ni(OH)2掺杂Co(OH)2的电极材料样品的数据为例进行NLLFS拟合，具体操作如下。
此外，EDS只能检测元素的组成与含量，不能测定元素的价态，且EDS的检测限较高（含量＞2%），即其灵敏度较低，而XPS既可以测定表面元素和含量，又可以测定表其价态，成都XPS的灵敏度更高，很低检测浓度＞0，1%，老师，我感觉XPS数据分析不大准，答：不少人说XPS分析不准，其实很多时候，不是仪器原因，而是我们的知识储备影响着我们的判断，与右边标准谱图对比，很右边是卫星峰，而左图直接标示为Ni(OH)2和NiO。
当用XPS测量绝缘体或者半导体时，由于光电子的连续发射而得不到电子补充，使得样品表面出现电子亏损，这种现象称为“荷电效应”，荷电效应将使样品表面出现一稳定的电势Vs，对电子的逃离有一定束缚作用，因此荷电效应将引起能量的位移，使得测量的结合能偏离真实值，造成测试结果的偏差，高分辨谱经过分峰拟合之后，就可以用来确定元素的化学态了，或者通过反应前后样品的高分辨谱图对比来得到其表面电子结构的变化信息等等。