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C1s校正后，其他峰和标准峰峰位相差多少算合理？以及分峰的峰位相差在多少范围内合理？，答：有些峰会偏移的大一些，一般情况，峰位相差0，5eV以内，如果相差过大，需要考虑是否是校正存在问题，XPS之所以无法检测H、He，是因为：1)H和He的光电离界面小，信号太弱；2)H1s电子很容易转移，在大多数情况下会转移到其他原子附近，检测起来非常困难;3)H和He没有内层电子，其外层电子用于成键，H以原子核形式存在。
此外，EDS只能检测元素的组成与含量，不能测定元素的价态，且EDS的检测限较高（含量＞2%），即其灵敏度较低，而XPS既可以测定表面元素和含量，又可以测定表其价态，成都XPS的灵敏度更高，很低检测浓度＞0，1%，老师，我感觉XPS数据分析不大准，答：不少人说XPS分析不准，其实很多时候，不是仪器原因，而是我们的知识储备影响着我们的判断，与右边标准谱图对比，很右边是卫星峰，而左图直接标示为Ni(OH)2和NiO。
当用XPS测量绝缘体或者半导体时，由于光电子的连续发射而得不到电子补充，使得样品表面出现电子亏损，这种现象称为“荷电效应”，荷电效应将使样品表面出现一稳定的电势Vs，对电子的逃离有一定束缚作用，因此荷电效应将引起能量的位移，使得测量的结合能偏离真实值，造成测试结果的偏差，高分辨谱经过分峰拟合之后，就可以用来确定元素的化学态了，或者通过反应前后样品的高分辨谱图对比来得到其表面电子结构的变化信息等等。