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真空泵的工作原理是通过机械或物理方式将气体或蒸汽从密闭容器中抽出,从而形成真空;真空泵的种类有很多,包括旋转翼泵、根式泵、涡旋泵和离心泵等。
真空泵是一种用于抽取气体或蒸汽使其达到低压或高真空状态的机械设备;真空泵的工作原理是利用机械、物理或化学方法将气体或蒸汽抽出,使被抽体内部压力下降,从而达到高真空或低压状态。
真空泵主要用于高真空范围内。离子泵和分子泵则是高真空和真空领域的主要设备,它们能够将气体排出到很低的压力范围,通常用于半导体和光学领域的制造过程中。
真空泵根据其工作原理和结构,真空泵可以分为多种类型,如机械泵、扩散泵、离子泵、分子泵等。其中,机械泵是常用的一种,它通过机械运动将气体排出,通常用于低真空和中真空范围内。
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