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产品特点：
1 、非接触式测量：避免对象受损。
2 、三维表面测量：表面高度测量范围为 1nm ---200μm。
3 、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
4 、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。
5、高速数字讯号处理器：实现测量仅需要几秒钟。
6 、扫描仪：采用死循环控制系统。
7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
8 、测量软件：基于windows 操作系统的使用者接口，强大而快速的运算。
应用领域：
1、半导体芯片
2、液晶产品（CS,LGP,BIU）
3、微机电系统
4、光纤产品
5、资料存储盘（HDD,DVD,CD）
6、材料研究
7、精密加工表面
8、生物医学工程
机型 SIS 1200 SIS 2000
工作台 尺寸 250 mm×174 mm 350mm×350mm
倾斜度 ±3 °
测量行程 X:150mm Y:100mm X:200mm Y:200mm
Z轴行程 50mm 100mm
运动方式 手动 自动，马达驱动
扫描速度 30μm/sec
垂直分辨率 0.1 nm
CCD 黑白CCD， 640×480 像素
物镜安装架 手动导引五孔式 手动 5个位移的可定位夹具
镜头选配 镜头：5×、10×、20×、50×
系统参数：
测量技术 增强相位扫描干涉 相位移动干涉
放大率 2.5X 5X 10X 20X 50X
视场 (mm) 3.62×2.72 1.81×1.36 0.90×0.68 0.45×0.34 0.18×0.13
横向分辨率 4.72μm 2.72μm 1.18μm 0.88μm 0.64μm
控制器 计算机
软件 i2000 and SNU Map
Windows 2000环境下运行
扫描仪 死循环控制
抗震工作台 气动装置
