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特种气体门类繁多,通常可区分为电子气体,标准气,环保气,医用气,焊接气,气等,广泛用于电子,电力,石油化工,采矿,钢铁,有色金属冶炼,热力工程,生化,环境监测,研究及诊断,保鲜等领域。
特种气体是指用于特定领域并对气体有特殊要求的纯气体、高纯气体或者高纯气体的二元或多组分混合物。化学特殊气体在不同情况下是不同的。
特种气体主要有电子气体、高纯气体和标准气体三种,广泛应用 于电子半导体、化工、、环保和装备制造等L域。电子特种气体市场分布电子特种气体种类多,应用领域广泛。电子特种气体在半导体整个制程应用中成本占比仅为 5~6%,但由于其品种繁多,在半导体制程工艺中覆盖广泛,因此成为衡量半导体技术的核心产品。在制备特种气体供应环节所涉及的市场依然是国内外公司积布局的方向。特种气体的分类方式很多种,例如按照气体本身化学成分可分为:硅系、系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积(CVD)用气体、载运稀释气体七类。
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