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产品介绍 更多详细信息请见中国仪器超市 白光干涉仪SIS系列采用增加相位扫描干涉技术，是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,，为韩国SAMSUNG**一*供应商，LPL友好俱乐部成员，清华大学，闽台大学，首尔大学友好合作伙伴。 产品特点1、非接触式测量：避免物件受损。 2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。 3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。 4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。 5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。 6、扫描仪：采用闭环控制系统。 7、工作台：气动装置、抗震、抗压。 8、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。