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发布时间:2023-02-26
存储晶圆玻璃IC大量处理
玻璃IC
玻璃IC
亦即,步进电机的驱动脉冲波连续自动扫频,每次记录频率分析的结果用三维表示。Y(倾斜)轴表示步进电机脉冲频率,X(横)轴表示振动频率,Z(纵)轴表示振动加速度。由此可以看出,何处的驱动脉冲,频率多少时,会产生的振动大小,一目了然,易于分析振动结果。根上振动分析图,从振动大的地方看到,驱动脉冲的基波频率造成振动成分,且出现的振动点为其偶次谐波,180pps附近的振动为振动加速度与转子及其负载系统的自然频率的共振。