供应厂家：上海茂竺电子科技有限公司
公司地址：上海市虹梅南路96号-20
网址：www.shm-semicon.com/
主营产品：特气柜，废气处理，纯化器，接头，调压阀
公司介绍：
上海茂竺以高端技术产品和技术服务相辅并进的快速发展模式。为半导体、医药及生物芯片等行业提供厂务所必需的洁净材料部件（隔膜阀、EP（BA）管道等）以及特殊气体设备[例如特气柜(GAS CABINET) 、阀门箱（VMB）]，化学品供应系统（例如CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX），尾气处理装置（SCRUBBER），不间断供气系统等。。。
上海茂竺信奉以客户为中心的服务理念，提供设备安装及二次配管等一系列高纯系统的整体解决方案，采用自动轨道焊接技术（即自动氩弧焊接Automatic Weld），具体内容覆盖了从方案设计到安装、测试等方面。茂竺电子通过控制项目的重复设计和建设，达到花费项目资金和周期的较小化。
我们主要服务于以下各行业：
高亮度发光二极管外延HB-LED： 主要工艺设备 MOCVD 光刻机等
**发光二极管OLED: PECVD, 溅射台，蒸发台OLED台，OTFT台，
太阳能电池：主要工艺设备 PECVD,SPUTTER等
硅外延：外延炉
微机电系统MEMS：主要工艺设备RIE，LPCVD，ICP，等离子清洗机，溅射机等
医药及生物芯片：
平面及等离子显示器：
化工：
其他材料薄膜制造设备：APCVD，LPCVD，MBE，HVPE等。
特气设备及洁净部件（特气钢瓶柜、阀门箱）主要用于控制高纯特殊气体，又称电子特气，包括氢气H2、氮气N2、氧气O2、 氩气Ar、磷烷PH3、砷烷AsH3、硅烷SiH4、乙硼烷B2H6、氨气NH3、三氯一氢硅烷TCS、Freon氟利昂气体、 氯气CL2、氯化氢气体HCL、三氯化硼BCL3、**基硼TMB、硼烷B2H6、二氯二氢硅烷DCS等等多种气体或液化气体。同时，提供危险气体的泄漏探测器（探测系统）及一般气体的浓度侦测等服务。
产品及服务：
上海茂竺 的特气设备有特气柜(Gas Cabinet或称钢瓶柜、气瓶柜)，气体流量控制箱(Gas Box by MFC),阀门箱（VMB）,阀门盘（VMP），气体侦测器（Gas Detector），废气处理器(Scrubber)以及化学品供应机台（CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX）。
上海茂竺公司还提供特气设备的安装服务、特气系统的二次配管及化学品供应机台的安装、化学品供应管道的配管等高洁净要求的业务。
从日本、欧美等发达国家进口的电子级材料，如EP级 （BA级、AP级）不锈钢管道（Tube，SS316L,SS304,或称电子级管道、**高纯管道、洁净管道），隔膜阀（Diaphragm Valve）, 减压阀（Regulator，或称调压阀）,过滤器（filter，0.003μm），fitting（Gland ,Tee …）等等**高纯特殊气体系统中必需采用的各类零部件。同时，提供危险气体的泄漏探测器（探测系统）及一般气体的浓度侦测等服务。
特气柜 钢瓶柜 气瓶柜 气瓶架 钢瓶面板 阀门箱 阀门盘 气体侦测器 废气处理装置 气体监控系统 气体探测系统 颗粒过滤器 纯化器 汇流排 管道工程 SS316L管道 EP管道 BA管道 高纯气体系统阀门 球阀 隔膜阀 气动隔膜阀 波纹管阀 调压阀 接头配件（NPT接头 VCR接头 LOK卡套 KF法兰快接 ISO法兰快接 CF法兰快接）压力表 钢瓶称 加热套 钢瓶接头 波纹管 高压金属软管 MFC质量流量计 浮子流量计 单向阀 气体泄漏探测器 冷却恒温槽 管道加热带（套）特氟纶软管 气体缓冲管 气体储蓄罐